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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）

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更新日期
2025-09-17

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2025-09-17

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2025-09-17

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HMDS涂膠機，智能型HMDS涂膠機將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

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