無塵烘箱是半導體、生物醫藥、精密電子及新材料研發中用于干燥、固化、老化或滅菌的關鍵設備,其核心要求是在高溫環境下維持內部空氣的高潔凈度,防止微粒污染敏感樣品。區別于普通烘箱,
無塵烘箱通過多重技術集成,實現高溫+潔凈雙重保障。深入理解其各組成部件的功能特點,是確保工藝合規與產品良率的基礎。

1、高效過濾系統(HEPA/ULPA)
箱體進風口標配H13–H14級HEPA濾網(可選U15級ULPA),對≥0.3μm顆粒物過濾效率達99.95%以上。部分機型采用垂直層流設計,經風機驅動,潔凈空氣自上而下均勻流過樣品區,有效抑制微粒沉降與渦流生成,滿足ISO14644-1Class5(百級)潔凈標準。
2、加熱與熱風循環系統
加熱元件:采用不銹鋼鎧裝電熱管或陶瓷加熱器,分布于風道側壁,避免直接輻射樣品;
離心風機:低噪音、耐高溫(≥250℃)風機驅動熱風經高效過濾后進入工作室,形成強制對流;
風量可調:部分型號支持風速調節,在保證潔凈度前提下降低氣流對輕質樣品的擾動。
3、內膽與結構設計
內膽為304或316L不銹鋼一體成型,內角R型圓弧過渡,不積塵;
門封采用耐高溫硅膠條,配合雙層鋼化玻璃觀察窗(帶防霧加熱功能),確保密封性與可視性;
外殼噴涂抗靜電粉末,減少表面吸附灰塵。
4、智能溫控與安全系統
雙傳感器控溫:主控PT100實時調節,獨立超溫保護傳感器(機械式或電子式)在失控時自動斷電;
程序控制:支持多段升降溫、定時、恒溫保持,數據可記錄并導出;
排氣與泄壓口:帶高效過濾的排氣閥,可連接廢氣處理系統,適用于含溶劑揮發工藝。
5、電氣與人機交互
控制面板符合CE/UL安全標準,具備權限管理、故障報警、運行狀態顯示;
可選配RS485、Ethernet或WiFi接口,接入MES或實驗室管理系統。