百級(jí)氮?dú)饪鞠涫且环N專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于在高潔凈度環(huán)境下進(jìn)行加熱處理的設(shè)備，通過(guò)內(nèi)置的高效過(guò)濾系統(tǒng)（通常為HEPA或ULPA過(guò)濾器），確保內(nèi)部空氣中的顆粒物濃度不超過(guò)每立方米100個(gè)0.5微米以上的粒子，從而達(dá)到“百級(jí)”潔凈標(biāo)準(zhǔn)。此外，氮?dú)庾鳛槎栊詺怏w被引入烤箱內(nèi)，以防止氧化反應(yīng)的發(fā)生，特別適用于需要避免空氣接觸的敏感材料加工。