国产成人av性色在线影院色戒-色妞ww精品视频7777-亚洲精品无码成人片久久不卡-97婷婷狠狠成为人免费视频-国内精品久久久久久久久电影网

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) >技術(shù)文章 > 光刻為什么需要智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)/氨氣烘箱?

光刻為什么需要智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)/氨氣烘箱?

更新時(shí)間:2025-04-26   點(diǎn)擊次數(shù):123次

智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)/氨氣烘箱定制的背景

   在曝光小尺寸圖形時(shí),我們傾向于使用正膠,這一點(diǎn)在前面已經(jīng)討論過(guò)了。其中一個(gè)原因就是正膠適于使用暗場(chǎng)掩模版做孔洞。暗場(chǎng)掩模版大部分被鉻覆蓋,因?yàn)殂t不會(huì)像玻璃一樣易損,所以缺陷比較少。然而,一些掩模版用來(lái)曝光島區(qū),而不是孔洞,比如金屬層掩模版上是島區(qū)圖形。遺憾的是,用正膠做島區(qū)的光刻需要使用亮場(chǎng)掩模版,而它的玻璃容易損傷。

   一種使用正膠和暗場(chǎng)掩模版做出島區(qū)的工藝是圖像反轉(zhuǎn)。它采用了傳統(tǒng)的暗場(chǎng)掩模版成像方法(見(jiàn)下圖),在曝光結(jié)束后,光刻膠里的圖形與想要得到的圖形是相反的,也就是說(shuō),如果接著顯影的話,會(huì)得到孔洞而不是島區(qū)。

智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)/氨氣烘箱的工藝標(biāo)準(zhǔn)  

  圖形反轉(zhuǎn)工藝的主要步驟為將涂膠的晶圓放置在有氨蒸氣的智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)/氨氣烘箱中。氨蒸氣穿透光刻膠,改變其極性。將晶圓從真空烘箱中取出,再進(jìn)行泛光曝光,從而完成整個(gè)圖形反轉(zhuǎn)工藝。氨氣烘焙和泛光曝光的效果是改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對(duì)分解率,在接下來(lái)的顯影步驟便可以實(shí)現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)了。這一工藝可以實(shí)現(xiàn)與非圖形反轉(zhuǎn)工藝同樣的分辨率。


分享到:

返回列表返回頂部
上一篇 : 沒(méi)有了    下一篇 :  半導(dǎo)體充氮潔凈烘烤箱 高溫?zé)o氧烘箱工藝指南
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營(yíng)產(chǎn)品:無(wú)氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無(wú)氧烤箱
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
主站蜘蛛池模板: 一区二区三区高清av专区| 高清无码一区| 亚洲 自拍 另类 欧美 综合| 亚洲成av人片无码不卡播放器| 欧美乱妇高清无乱码免费| 无码专区人妻丝袜| 亚洲日韩av无码一区二区三区| 久久久一本精品久久精品六六| 国产精品人人妻人人爽人人牛| 国精品无码一区二区三区在线| 国产xxxx视频在线观看| 精品国模一区二区三区| 精品国产小视频在线观看| 一本色道无码道dvd在线观看| 老司机午夜精品视频资源| 中文国产成人精品久久久| 成人麻豆精品激情视频在线观看| 72种姿势欧美久久久久大黄蕉| 亚洲欧美成人片在线观看| 性欧美高清come| 国产成人乱码一二三区18| 无码视频免费一区二区三区| 黑人av| 国产亚洲视频在线播放香蕉| 国产精品免费_区二区三区观看| 麻豆一精品传媒卡一卡二传媒短视频| 亚洲国产另类久久久精品网站| 免费午夜无码视频在线观看| 在线观看黄色一区二区三区| 无码人妻aⅴ一区 二区 三区| 亚洲日韩国产精品第一页一区| 亚洲一区二区三区熟妇| 精品美女视频一区二区| 亚洲精品无码av人在线观看| 亚洲精品成人片在线观看精品字幕| 国产尤物精品福利视频| 日韩国产亚洲欧美中国v| 亚洲最大的成人网站 | 亚洲愉拍自拍另类图片| 少妇被躁爽到高潮无码久久| 嫩草一区在线观看|