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潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

簡要描述:

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場景
半導體行業?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅膜、墨點烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%
?新能源領域?、醫療與科研?


?潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱核心參數與技術特性?

?溫度范圍?:RT+20~200/400℃,控溫精度±0.5℃,支持快速升溫(>6℃/min)?

?潔凈等級?:Class 10~100級(百級潔凈度過濾效率達99.99%),內腔采用304、316L不銹鋼材質,密封防塵設計?

?氮氣保護?:充氮純度≥99.999%,氧含量可低至10ppm以下,氮氣壓力調節范圍0.01~0.60MPa?

?定制化配置?:支持雙箱獨立控制、可視化窗口(可選)、不銹鋼網板分層(可活動抽取)?

?二、產品結構與功能設計?

?箱體構造?

外箱:防塵烤漆處理(冷軋鋼板),或304、316L不銹鋼材質,耐高溫密封條?

保溫層:高密度陶瓷纖維,熱能損耗降低30%?

?加熱與控溫系統?

加熱方式:覆套式無塵電熱器,均勻加熱,支持觸摸屏程序控溫?

循環風道:水平送風+HEPA高效過濾,快速降溫排氣口自動風門設計?

?智能控制?:支持MES等自動化通信端口,

      內置計時報警功能,

      氧含量實時監測(氧化鋯分析儀)?

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場景與解決方案?

?半導體行業?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅膜、墨點烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%

?新能源領域?:鋰電池材料高溫干燥,氮氣防氧化保護?、新能源材料企業

?醫療與科研?:生物醫藥實驗室,無菌實驗設備干燥、無氧環境樣品處理(符合ISO9001標準)?

?四、服務與保障?

?售后支持?:提供設備調試、技術培訓,終身維護

?質量認證?:執行CE、ISO9001/SEMI S2等標準

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