程控式氮氣潔凈烤箱，四箱充氮烘箱說明

    可程式潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，可設(shè)定定值運行、程序（曲線）運行自由切換，并有自動恒溫及時間控制，并附設(shè)有超溫自動停止加熱及報警電路，控制可靠，使用安全。

程控式氮氣潔凈烤箱，四箱充氮烘箱技術(shù)指標(biāo)：

2.1溫度范圍： RT（室溫）+15～200/300/400/500/600℃；

2.2溫度均勻度：≤±1.5%℃；

2.3升溫速度： 0-15℃/min；

2.4熱風(fēng)循環(huán)方式：水平送風(fēng)

2.5工作尺寸：

D350×W350×H350mm

D500×W500×H500mm

D500×W600×H700mm

D600×W600×H800mm

D1000×W1000×H1000mm

D1200×W1400×H1200mm

......

多尺寸定制

2.6箱體數(shù)：1.2.3.4.6.8

2.7 運行方式：定值、程式

3、箱體結(jié)構(gòu)：

3.1箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆或不銹鋼；

3.2內(nèi)室材料：采用SUS304＃、316L無磁性鏡面不銹鋼；

3.3保溫材料：超細(xì)陶瓷纖維；

3.4排 氣 口：ф50，位于箱體側(cè)方；

3.5 隔 板：2層，不銹鋼板沖孔，承重約30KG；

3.6空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；

3.7加熱方式：不銹鋼電加熱器；

程控式氮氣潔凈烤箱用途

  氮氣潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料烘烤、涂膠后堅膜烘烤，治具烘烤等；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、固化、熱處理、老化試驗，可靠性試驗等其他高溫試驗。

選配功能：

潔凈度：百級（class100）無塵

氧濃度：20ppm,可監(jiān)測

降溫功能：風(fēng)冷、水冷

智能軟件：MES,GEM等工業(yè)4.0智能工控