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產(chǎn)品中心
P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-16訪 問 量：2530
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晶圓烘箱，晶圓制程烤箱用途:
晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點：
在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制精度。
技術參數(shù)：
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200、300℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）；
溫控精度：±0.1℃;
進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風口： φ3”排風管;
工作室尺寸：W1500×D1000×H1400（mm）；可選擇
電源：380v , 50Hz，15KW；
網(wǎng)板：5層；
潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
控制器：彩色觸摸屏；
顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；
輸出方式：PID控制輸出；
運行方式：程序方式、定值方式；
耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)
過濾效率：≥99.99%;
完善的安全保護措施：
漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。
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